Design und Simulation von Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS)
| Inhalt | Mit der kommerziell erhältliche Systemsimulationssoftware MEMS+ von Coventor werden aus Basiselementen Simulationsmodelle verschiedener mikromechanischer Sensoren und Aktoren erstellt und ihr Betriebsverhalten untersucht. Die erstellten Modelle können mit MATLAB/Simulink kombiniert werden, so dass das Gesamtsystemverhalten inklusive elektrischer Beschaltung und Regelung untersucht werden kann. Die praktischen Aufgaben werden in Zweier-Gruppen durchgeführt. In der begleitenden Vorlesungsstunde werden Grundkenntnisse der Simulation von Mikroelektromechanischen Bauelementen und Systemen (MEMS) vermittelt. Es werden verschiedene Verfahren zur Systemsimulation eingeführt, ein Überblick über gängige Ansätze und derzeit erhältliche Softwaretools gegeben, sowie auf Herausforderungen und grundlegende zu lösende physikalische Fragestellungen bei der Simulation von MEMS eingegangen. Außerdem werden grundlegende physikalische Kenntnisse vermittelt, die für die Simulation von MEMS benötigt werden. |
| Teilnehmeranzahl | mindestens 4 (2 Gruppen á zwei TeilnehmerInnen) bis maximal 14 (7 Gruppen á zwei TeilnehmerInnen). |
| Veranstaltungsort | Raum N2159, Gebäude N1, 2. OG. |
| Materialien | Für die Einarbeitung in die Themen des Praktikums empfehlen wir die in der Modulbeschreibung und im Vorlesungsteil angegebene Literatur. Weiterhin werden Handouts der im Vorlesungsteil behandelten Themen ausgegeben sowie ein Skript, das die Versuchsbeschreibung und die Aufgabenstellungen enthält. In die verwendete kommerzielle Software Coventor MEMS+ wird im Praktikum eingeführt. Desweiteren stehen elektronische Tutorials und Manuals zur Verfügung. |
| Prüfung | Die Prüfungsleistungen setzen sich zusammen aus einer 30 minütigen mündlichen Prüfung und der Abgabe von eigenständig erstellten Praktikumsberichten zusammen, in denen die Versuchsdurchführungen, Auswertungen und Resultate beschrieben und disktuiert werden. Pro Gruppe muss eine Dokumentation abgebenen werden. Die Protokolle müssen spätestens 7 Tage vor der mündliche Prüfung abgegeben werden. Für die Gesamtnote geht die Benotung der Dokumentation und Ausarbeitung zu einem Drittel mit ein. Die Benotung der mündliche Prüfung geht zu zwei Drittel in die Gesamtnote mit ein. |
| Voraussetzung | Als Voraussetzung für die Zulassung zur Prüfung ist die regelmäßige Teilnahme am Praktikum. Verhinderungsgründe müssen rechtzeitig angezeigt werden, verpasste Termine müssen in der Regel nachgeholgt werden. Bitte geben Sie bei Verhinderung, z.B. durch Krankheit auf jeden Fall Bescheid, auch im Interesse Ihres Praktikumspartners. |