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Wissenschaftliche Artikel veröffentlicht im Journal of Vacuum Science & Technology B
Die Arbeit stellt das neue Simulationswerkzeug ContaminationFlow vor, das die Ausbreitung von Kontamination in Vakuumumgebungen durch eine Test-Particle-Monte-Carlo (TPMC) Simulation modelliert und besonders für Anwendungen in Raumfahrt und Halbleitertechnik geeignet ist.
Der wissenschaftliche Artikel ist abrufbar unter:
https://doi.org/10.1116/6.0005355
DOI: 10.1116/6.0005355